目前廢氣處理設備對低溫等離子體的作用機理研究以為是粒子非彈性碰撞的結果。一方面打開了氣體分子鍵，天生一些單分子和固體微粒；另一力生．OH、H2O2．等自由基和氧化性極強的O3，在這一過程中高能電子起決定性作用，離子的熱運動只有副作用。光催化氧化可在室溫下將水、空氣和泥土中有機污染物完全氧化成無毒無害的產物，而傳統的高溫焚燒技術則需要在極高的溫度下才可將污染物摧毀，即使用常規的催化、氧化方法亦需要幾百度的高溫。合用范圍：水溶性、有組織排放源的惡臭氣體。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應研究方面。

    優點：工藝簡樸，治理利便，設備運轉用度低產生二次污染，需對洗滌液進行處理。缺點：受到曝氣強度的限制，該法的應用還有一定局限。等離子體就是處于電離狀態的氣體，其英文名稱是plasma，它是由美國科學muir，于1927年在研究低氣壓下汞蒸氣中放電現象時命名的。低溫等離富含電子、離子、自由基和激發態分子，其中高能電子與氣體分子（原子）發生撞，將能量轉換成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解和電離等一系列過秸處于活化狀態。這為廢氣處理設備一些需要很大活化能的反應如大氣中難降解污染物的去除提供了另外也可以對低濃度、高流速、大風量的含揮發性有機污染物和含硫類污染物等進行處理。

    缺點：凈化效率低，應與其他技術聯合使用，對硫醇，脂肪酸等處理效果差。廢氣處理設備的工作原理是將氣體中的污染物質分離出來,轉化為無害物質,以達到凈化氣體的目的.廢氣處理設備的工作原理是將氣體中的污染物質分離出來，轉化為無害物質，以達到凈化氣體的目的。它屬于微分接觸逆流式，塔體內的填料是氣液兩相接觸的基本構件。它能提供足夠大的表面積，對氣體流動又不致造成過大的阻力。吸收劑是處理廢氣的主要媒體，它的性質和濃度是根據不同廢氣的性質來選配，其處理單位氣體的耗用量，是通過計算吸收劑與惰性氣體的摩爾流量的比值來確定的。廢氣由風管吸入，自下而上穿過填料層；循環吸收劑由塔頂通過液體分布器，均勻地噴淋到填料層中，沿著填料層表面向下流動，進入循環水箱。由于上升氣流和下降吸收劑在填料中不斷接觸，上升氣流中流質的濃度越來越低，到塔頂時達到排放要求。