1.OLED濕制程
設備采用純水隔離式或風簾隔離式
2.OLED濕制程設備具有清洗液在線分析檢測系統(tǒng)
3.OLED濕制程設備采用全自動配液補液系統(tǒng)
4.OLED濕制程設備具有
玻璃基板清洗后表面與平縫不得有水跡與污染物,清洗
玻璃基板表面不能有灰塵、殘留物、玻璃碎片、油污 的特點
5.OLED濕制程設備具有全程自動控制,工藝生產(chǎn)過程中不用人工干預,保證產(chǎn)品性能的一致性
多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲 的特點
6.OLED濕制程設備有客制化設計能力佳,高設計能力滿足客戶制程工藝需要的特點