適用于：2-6英寸晶圓清洗 產(chǎn)品規(guī)格 控制模式：全自動(dòng)控制 整機(jī)尺寸：2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H) 工件：2-6寸晶圓 產(chǎn)能：25片/槽 可按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計(jì) 操作高度：850±50mm 電源：380V 三相五線制，50HZ,14KW 設(shè)備特點(diǎn)： 1.led清洗設(shè)備骨架為SUS304外包3mmPP，外殼采用進(jìn)口象牙白PVC板熱熔焊接； 2. led清洗設(shè)備采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制； 3. led清洗設(shè)備槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控制裝置； 4. led清洗設(shè)備藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發(fā)，污染； 5.led清洗設(shè)備清洗區(qū)域高效過濾器，無二次污染機(jī)會(huì)； 6.led清洗設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE 管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水； 7.led清洗設(shè)備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤，有效防止設(shè)備漏液損害廠務(wù)地板； 8.led清洗設(shè)備的機(jī)械臂手采用直線滑塊導(dǎo)向，反向安裝，減少油及粉塵污染且便于維護(hù)； 9.用戶操作人員上料后，全過程自動(dòng)化控制，減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動(dòng)化程度高、運(yùn)行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)。 10.led清洗設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計(jì)，確保人身和廠務(wù)安全；